经过对麒麟9000s的芯片进行剖片,X光成像,酸洗,最终确认麒麟9000s的工艺来自ASML 1980Di。来源:薛定谔的英短咕咕咕这一点也被菊厂人员确认,的确是ASML 1980Di光刻机台。来源:https://www.toutiao.com/w/1775633627760771ASML 1980Di是荷兰ASML高端DUV光刻机中最落后的一种,也是唯一对中国不禁售的型号。其性能较其他DUV光刻机更差,分辨率大于等于38nm,数值孔径为1.35NA,每小时可生产275片晶圆,适用于14nm及以上的芯片制造。
作者:白格
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